射频电源

http://www.advanced-energy.net.cn/zh/HFV_Variable_Frequency_Generator.html

http://www.kmmzs.com/zh-CN/introduce.html

http://rf-power.net/

射频电源技术主要掌握在美、日、德等少数国家的少数厂家中，如美国的AE（Advanced Energy）、MKS（MKS Instruments）、日本的DAIHEN、德国的Huettinger等。